微流量傳感器 - F1031

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新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移，無滯后
精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好
低功耗（使用脈沖激發(fā)電流）
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出；模擬或數(shù)字輸出

產(chǎn)品型號：: F1031

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產(chǎn)品介紹

一、微流量傳感器F1031描述

F1031 微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復(fù)性。F1031微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進(jìn)行專有的溫度補償校準(zhǔn)；同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。
芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成：熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓，即本征塞貝克效應(yīng)。加熱電阻兩側(cè)的等溫線,當(dāng)流體靜止時，等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對稱分布，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的。當(dāng)流體從左向右流動時，等溫線向右側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可直接測出流體質(zhì)量流量。

二、微流量傳感器F1031傳感器特點
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移，無滯后
精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好
低功耗（使用脈沖激發(fā)電流）
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出；模擬或數(shù)字輸出

三、微流量傳感器F1031主要應(yīng)用
醫(yī)用設(shè)備：呼吸儀、肺活量儀、麻醉控制儀、氧氣控制等
暖通空調(diào)：變風(fēng)量系統(tǒng) (VAV)、過濾器監(jiān)控、風(fēng)扇通風(fēng)控制等
工業(yè)過程控制：燃燒器控制
空氣和環(huán)境保護
便攜式儀器

四、微流量傳感器F1031技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號	F1031微流量傳感器
量程①	20、35、50、100、150、200SLM②
	最小	典型值	最大	單位
滿量程輸出	4.90	5.00	5.10	V
零流量輸出	0.96	1.00	1.04	V
輸出阻抗	-	200	-	Ω
工作電壓	7.0	10.0	14.0	V
工作電流	15	25	30	mA
精度	-	±1.5	±2.5	%F.S
重復(fù)性	-	±0.3	±0.5	%F.S
年漂移③	-	±0.1	±0.5	%F.S
工作壓力④	-	-	100	kPa
反應(yīng)時間	5	10	15	ms
工作溫度⑤	-25	-	65	℃
儲存溫度	-40	-	90	℃